

ホーム > 製品紹介|マシンカバー〔マシンカバー〕

半導体・電子部品のパーティクル汚染防止、ラミネート異物混入防止などの目的には、装置ごとの専用設計によりマシンカバーを製作します。作業者の安全対策として、巻き込まれ防止など自動装置への接触懸念箇所を囲うことにより高い安全性を確保できます。
透明度の高い樹脂板を使用することにより、カバー内を可視でき、美観性の向上にもなります。
【使用例】
サイズ: W3,126×D800×H1,023 用途: 全面開き扉(リミットスイッチ付)
用 途: 電子部品成形機の安全カバーとして

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■高い気密性(入れ込まない・飛び散らせない) オリジナルフレームの面シール構造で、高いシール性を持たせ、優れた遮音性と気密性を実現しました。 ■優れたコストパフォーマンス シンプルな構造で軽量化を実現。優れたコストパフォーマンスとやさしいデザインを追求しました。 ■様々な材質の板に対応 3tの板材を簡単固定。 ■装置に合わせた自由設計 組立が簡単、複雑な形状にもフレキシブルに対応します。 *メンテナンス口にはいくつかの扉形状をラインアップ、作業内容に合わせて選定できます。(観音開き、脱着扉、スライド扉等) ■クリーンカバーとして 内張り仕様で内側の溝・段差を解消、FFUと組合わせて清浄度を必要とするクリーンカバーに。 | ![]() |
半導体・液晶プロセス
プロセス関連装置のクリーンカバー化により、パーティクル汚染によるパターン欠陥・不良、エッチング不良、現像不良などの不良モードを防止し、歩留り向上に。
コーティング
溶剤塗布、塗装の際の異物付着対策。
乾燥炉まで覆うことにより乾燥前の付着も防ぎます。
オイルミストコレクター
切削油、切削水などの飛散防止に効果を発揮します。
塗装工程
塗装母材に付着したゴミ、塵により出来る凹凸または塗装のムラを防止します。コーティングと同じく乾燥炉までカバーすることでクレーム製品削減に貢献します。
搬送ライン
梱包前の製品搬送、または密封前の製品搬送の際の付着・混入を防ぎます。
シール等のラミネート
シール材、写真などのラミネートの際に、ゴミ・塵付着を防止します。
飲料水などの充填工程
飲料水、薬品等の充填工程の異物混入対策に。
防虫対策
飛来虫の生産ライン混入を防ぎます。周囲板材にUV対応品を使用します。
